En el Departamento de Micro y Nanotecnología del Centro Atómico Constituyentes se encuentra una Sala Limpia de unos 150 m2.
Este laboratorio brinda servicios de micro fabricación de dispositivos y sistemas a toda la comunidad científico tecnológica nacional. La misma se encuentra en funcionamiento de lunes a viernes de 10 a 13 hs y de 14 a 16:30 hs.
El Departamento de Micro y Nanotecnología dispone de 6 profesionales y 4 técnicos para la gestión, operación y mantenimiento de la Sala Limpia.
Para utilizar el equipamiento disponible dentro del Laboratorio debe contactarse al: Teléfono: (011) 6772 7000 int 7736 o 7079 o vía E- mail: Esta dirección de correo electrónico está siendo protegida contra los robots de spam. Necesita tener JavaScript habilitado para poder verlo..
Director del Departamento de Micro y Nanotecnología: Alejandro Fasciszewski
Fabricante: Horiba Scientific, Ltd.
Características:
Elipsometro Espectrografico.
Rango espectral: 440-1000 nm
Tamaños de Spot: 500x500 µm; 250x500 µm; 250x250 µm; 70x250 µm; 100x100 µm; 50x60 µm; 25x60 µm.
Detección: CCD – Resolution: 2nm.
Stage: chucks por vacío, altura 40 mm.
Visualizacion: cámara CCD.
Goniometro: Fijo at 70°.
Precisión: 100nm d ± 4Å, n(632.8nm) ± 0.002
Repetibilidad: NIST 15nm ± 0.2 Å
Martín Bellino
Karina Pierpauli
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