En el Departamento de Materia Condensada del Centro Atómico Constituyentes se cuenta con un sistema de crecimiento de films delgados mediante ablación láser (Pulsed Laser Deposition, o PLD). La cámara de ablación fue adquirida a la firma norteamericana NBM Design, mientras que el láser es de tipo Nd:YAG pulsado, cuadruplicado en frecuencia hasta 266nm, alcanzando una energía por pulso a esa longitud de onda de 110mJ.

Adosado a la cámara se cuenta con un sistema de caracterización in-situ mediante difracción de electrones de alta energía (RHEED). Esta opción permite obtener información en tiempo real sobre la cristalinidad, epitaxia, morfología y mecanismo de crecimiento de los films.

Publicado en Películas delgadas

El elipsómetro espectroscópico SOPRA GES 5E puede realizar mediciones de espesor e índices de refracción de películas soportadas de diferentes materiales densos y porosos. Las mediciones se realizan en función de la longitud de onda, el ángulo de incidencia, el estado de polarización y el tiempo. El rango espectral es de 190 a 900 nm. Posee una cámara para realizar las mediciones en condiciones de humedad controladas, lo cual permite obtener isotermas de adsorción-desorción de agua de películas porosas y estudiar el hinchamiento de membranas.

Publicado en Metrología

Sistema de depósito de películas delgadas por erosión anódica (sputtering). Posee una cámara de alto vacío equipada con "load lock" que permite realizar varias muestras sin romper el vacío de la cámara de depósito.

Fabricante: AJA International.

Características:
Sistema manual equipado con fuentes de DC de 200W y RF de 300W. Calefactor de sustrato hasta 700ºC.
Tamaños de muestra: cualquier forma y tamaño hasta 100 mm.

Blancos disponibles:
Cu, Ti, Cr, Al. Otros materiales consultar

Publicado en Películas delgadas

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