El sistema está diseñado para el ataque y erosión de películas delgadas en ambiente no húmedo.
Dispone de una fuente para ionización de átomos o moléculas con capacidad de aceleración de los iones resultantes por un voltaje contra la muestra. Puede hacer un ataque por bombardeo mecánico (por ej. con iones Ar) o con especies químicas reactivas (por ej. con freones, que producen iones F libres.