Litografia y nanomanipulación
El sistema está diseñado para el ataque y erosión de películas delgadas en ambiente no húmedo. Dispone de una fuente para ionización de átomos o moléculas con capacidad de aceleración de los iones resultantes por un voltaje contra la muestra. Puede hacer un ataque por bombardeo mecánico (por ej. con…
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Este sistema está ubicado en la Sala de nanofabricacion del INN en el Centro Atómico Bariloche y consiste en un Microscopio electrónico de Barrido, marca FEI modelo XL30/TMP LaB6 especialmente equipado con una Sistema de litografía NPGS v9.0 (aprox. 75 % tiempo de uso) y un nanomanipulador Zyvek (aprox. 25%…
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Sistema de litografía óptica de contacto.
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