En el Departamento de Micro y Nanotecnología del Centro Atómico Constituyentes se encuentra una Sala Limpia de unos 150 m2.
Este laboratorio brinda servicios de micro fabricación de dispositivos y sistemas a toda la comunidad científico tecnológica nacional. La misma se encuentra en funcionamiento de lunes a viernes de 10 a 13 hs y de 14 a 16:30 hs.
El Departamento de Micro y Nanotecnología dispone de 6 profesionales y 4 técnicos para la gestión, operación y mantenimiento de la Sala Limpia.
Para utilizar el equipamiento disponible dentro del Laboratorio debe contactarse al: Teléfono: (011) 6772 7000 int 7736 o 7079 o vía E- mail: Esta dirección de correo electrónico está siendo protegida contra los robots de spam. Necesita tener JavaScript habilitado para poder verlo..">Esta dirección de correo electrónico está siendo protegida contra los robots de spam. Necesita tener JavaScript habilitado para poder verlo..
Director del Departamento de Micro y Nanotecnología: Alejandro Fasciszewski.
Sistema de remoción de fotopolímeros vía.
Fabricante: SPEC inc.
Características:
Reactor tipo downstream seca por plasma de microondas.
Potencia de microondas: 2kW.
Tamaño de muestra: obleas de 100mm/150mm.
Temperatura regulable entre 150ºC y 300ºC.
Presión regulable entre 0.1 a 10 Torr
Gases: O2 hasta 10 SLPM, N2 hasta 1 SLPM
Insercion y extracción automática de obleas.
Procesos disponibles: Remoción de fotoresinas positivas y negativas
Juan Bonaparte
Karina Pierpauli
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