D-RIE Oxford Instruments Plasmapro Cobra

Sala Limpia Centro Atómico Constituyentes (SL-CAC)

En el Departamento de Micro y Nanotecnología del Centro Atómico Constituyentes se encuentra una Sala Limpia de unos 150 m2.

Este laboratorio brinda servicios de micro fabricación de dispositivos y sistemas a toda la comunidad científico tecnológica nacional. La misma se encuentra en funcionamiento de lunes a viernes de 10 a 13 hs y de 14 a 16:30 hs

El Departamento de Micro y Nanotecnología dispone de 6 profesionales y  4 técnicos para la gestión, operación y mantenimiento de la Sala Limpia.

Para utilizar el equipamiento disponible dentro del Laboratorio debe contactarse al: Teléfono: (011) 6772 7000 int 7736 o 7079 o vía E- mail: Esta dirección de correo electrónico está siendo protegida contra los robots de spam. Necesita tener JavaScript habilitado para poder verlo.

Director del Departamento de Micro y Nanotecnología: Alejandro Fasciszewski.

D-RIE Oxford Instruments Plasmapro Cobra

Sistema de Ataque de profundo.

Fabricante: Oxford Instruments.

Características:
RIE de placas paralelas y de silicio generador de plasma IPC.
Ataques basados en Flúor(SF6, C4F8) y Cloro.
Generador de RF:600W con sintonizador automático.
Generador de ICP:3kW con sintonizador automático.
Gases: SF6, C4F8, Ar, O2, Cl, BCl3.
Control automático de presión hasta 200mTorr.
Tamaño de muestra: Solo obleas de 4"/6". (otros tamaños consultar).

Procesos disponibles: Instalación estimada Abril 2015.

Información adicional

  • Lugar: Sala Limpia CAC - Sala de Ataques por Plasma
  • Dependencia: Departamento de Micro y Nanotecnología
  • Responsables:

    Karina Pierpauli
    Alejandro Fascieszewski

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