RIE Oxford Instruments Plasmalab80+

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Sala Limpia Centro Atómico Constituyentes (SL-CAC)

En el Departamento de Micro y Nanotecnología del Centro Atómico Constituyentes se encuentra una Sala Limpia de unos 150 m2.

Este laboratorio brinda servicios de micro fabricación de dispositivos y sistemas a toda la comunidad científico tecnológica nacional. La misma se encuentra en funcionamiento de lunes a viernes de 10 a 13 hs y de 14 a 16:30 hs

El Departamento de Micro y Nanotecnología dispone de 6 profesionales y  4 técnicos para la gestión, operación y mantenimiento de la Sala Limpia.

Para utilizar el equipamiento disponible dentro del Laboratorio debe contactarse al: Teléfono: (011) 6772 7000 int 7736 o 7079 o vía E- mail: Esta dirección de correo electrónico está siendo protegida contra los robots de spam. Necesita tener JavaScript habilitado para poder verlo.

Director del Departamento de Micro y Nanotecnología: Alejandro Fasciszewski.

RIE Oxford Instruments Plasmalab80+

Sistema de Ataque de películas dieléctricas.

Fabricante: Oxford Instruments

Características:
RIE de placas paralelas y generador de y silicio plasma IPC. Ataques basados en Flúor(SF6, C4F8).
Generador de RF: 300W con sintonizador automático.
Generador de ICP:750W con sintonizador automático.
Gases: SF6, C4F8, Ar, O2.
Control automático de presión hasta 200mTorr.
Tamaño de muestra: Solo obleas de 4". (otros tamaños consultar)

Procesos disponibles: Ataque de Si02, Si3N4, Si anisotrópico de alta relación de aspecto (10:1)

Información adicional

  • Lugar: Sala Limpia CAC - Sala de Ataques por Plasma
  • Dependencia: Departamento de Micro y Nanotecnología
  • Responsables:

    Karina Pierpauli
    Alejandro Fascieszewski

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