En el Departamento de Micro y Nanotecnología del Centro Atómico Constituyentes se encuentra una Sala Limpia de unos 150 m2.
Este laboratorio brinda servicios de micro fabricación de dispositivos y sistemas a toda la comunidad científico tecnológica nacional. La misma se encuentra en funcionamiento de lunes a viernes de 10 a 13 hs y de 14 a 16:30 hs.
El Departamento de Micro y Nanotecnología dispone de 6 profesionales y 4 técnicos para la gestión, operación y mantenimiento de la Sala Limpia.
Para utilizar el equipamiento disponible dentro del Laboratorio debe contactarse al: Teléfono: (011) 6772 7000 int 7736 o 7079 o vía E- mail: Esta dirección de correo electrónico está siendo protegida contra los robots de spam. Necesita tener JavaScript habilitado para poder verlo.
Director del Departamento de Micro y Nanotecnología: Alejandro Fasciszewski.
Sistema de depósito de películas delgadas por erosión anódica (sputtering). Posee una cámara de alto vacío equipada con "load lock" que permite realizar varias muestras sin romper el vacío de la cámara de depósito.
Fabricante: AJA International.
Características:
Sistema manual equipado con fuentes de DC de 200W y RF de 300W. Calefactor de sustrato hasta 700ºC.
Tamaños de muestra: cualquier forma y tamaño hasta 100 mm.
Blancos disponibles:
Cu, Ti, Cr, Al. Otros materiales consultar
Alejandro Fasciszewski
Karina Pierpauli
Juan Bonapartte
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