Las otras dos cámaras adosadas al acelerador trabajan en condiciones de ultra alto vacío (10-10 Torr) y están diseñadas para el estudio de superficies y películas delgadas. En forma conjunta, se puede realizar experimentos de difracción de electrones lentos (LEED), espectroscopías de electrones auger (AES) y de pérdida de energía (EELS), y espectrometría de masas con detección por tiempo de vuelo. Esta última técnica es particularmente adecuada para estudiar compuestos que contengan hidrógeno y superficies de aislantes. Estas dos cámaras poseen a su vez facilidades de evaporación in-situ de metales, moléculas orgánicas y aislantes desde el rango de la submonocapa. La temperatura de la muestra se puede regular en el rango de 240- a 900 K.
En la tercera cámara de ultra alto vacío se implementó una nueva línea experimental dedicada al estudio de superficies mediante difracción de átomos rápidos (GIFAD). La misma cuenta con facilidades de preparación de muestras similares a las anteriores, y tiene su propio cañón de átomos neutros de bajas energías (< 5 keV), colimado hasta algunas decenas de micrones.
